Liên hệ ngay

0979 453 358
Tin tức

NHỮNG ĐIỀU CẦN BIẾT VỀ PHÒNG SẠCH

Nếu ai đó từng xem quảng cáo của hãng Intel, thế nào cũng từng thấy cảnh quảng cáo các kỹ sư của Intel mặc bộ đồ kín từ đầu đến chân nhảy múa trong phòng, trông như các phi hành gia nhảy múa trên tàu vũ trụ. Và nếu có một chút yêu thích về kỹ thuật, thế nào bạn cũng tò mò tự hỏi họ mặc bộ quần áo ấy để làm gì, và nếu yêu thích hơn chút nữa, thế nào bạn cũng từng mơ có ngày mặc bộ đồ ấy để làm việc như họ, một công việc thật thú vị ? Xin thưa, đó là các bộ quần áo bảo hộ khi làm việc trong phòng sạch (ví dụ như phòng sạch về công nghệ bán dẫn của Intel chẳng hạn), và khi làm việc phải mặc nó cũng chẳng dễ chịu gì đâu. Bạn sẽ hỏi tiếp, thế phòng sạch là gì? Tại sao phải có phòng sạch? Hi vọng bài viết này sẽ giúp cho bạn có những hiểu biết ban đầu về phòng sạch.
 

1. Phòng sạch là gì?

Nếu cần nói một cách đơn giản, ta có thể trả lời rằng “phòng sạch” là một phòng rất sạch. Phòng sạch (tiếng Anh là cleanroom – một danh từ ghép), theo định nghĩa bởi tiêu chuẩn ISO 14644-1 là: “Là một phòng mà nồng độ của hạt lơ lửng trong không khí bị khống chế và nó được xây dựng và sử dụng trong một kết cấu sao cho sự có mặt, sự sản sinh và duy trì các hạt trong phòng được giảm đến tối thiểu và các yếu tố khác trong phòng như nhiệt độ, độ ẩm, áp suất đều có thể khống chế và điều khiển“. Nguyên văn tiếng Anh: “A room in which the concentration of airborne is controlled, and which is constructed and used in a manner to minimise the introduction, generation and retention of particles inside the room and in which other relevant parameters, e.g. temperature, humidity, and pressure, are controlled as neccessary.” [1] Nói một cách đơn giản, phòng sạch là một phòng kín mà trong đó, lượng bụi trong không khí, được hạn chế ở mức thấp nhất nhằm tránh gây bẩn cho các quá trình nghiên cứu, chế tạo và sản xuất. Đồng thời, nhiệt độ, áp suất và độ ẩm của không khí cũng được khống chế và điều khiển để có lợi nhất cho các quá trình trên. Ngoài ra, phòng còn được đảm bảo vô trùng, không có các khí độc hại đúng theo nghĩa “sạch” của nó.

2. Lịch sử của phòng sạch, sự cần thiết của phòng sạch.

Phòng sạch được sử dụng lần đầu tiên là trong lĩnh vực y tế. Mở đầu là các công trình nghiên cứu của Pasteur, Koch, Lister và các nhà sinh học tiên phong khác đã chỉ ra rằng sự nhiễm khuẩn là nguyên nhân của nhiều căn bệnh, mà một trong những nguyên nhân của sự nhiễm khuẩn là sự mất vệ sinh trong môi trường. Lần đầu tiên vào những năm 1860, Joseph Lister (một giáo sư ở Đại học Tổng hợp Glasgow) đã thiết lập một hệ thống phòng khép kín nhằm hạn chế bụi bẩn, chống sự nhiễm khuẩn ở Viện xá Hoàng gia Glasgow (Royal Infirmary, là một Viện xá thành lập bởi ĐH Glasgow, ngày nay mang tên là Glasgow Western Infirmary). Đây chính là phòng sạch sơ khai đầu tiên [1]. Và hệ thống phòng sạch sử dụng cho sản xuất được bắt đầu sử dụng vào thời gian chiến tranh thế giới thứ hai để cải tiến các súng ống, vũ khí quân sự. Cho đến lúc này, phòng sạch mới chỉ ở mức sơ khai là làm sạch bằng cách hệ thống hút bụi và hút ẩm đơn giản, khác xa so với ngày nay.

Tiếp đến, phòng sạch được phát triển thêm một bước nhờ sự thúc đẩy từ các ngành nghiên cứu về hạt nhân, sinh và hóa dẫn sự ra đời của các hệ thống lọc không khí. Các phòng sạch với dung tích lớn, hệ thống lọc không khí tốt bắt đầu phát triển mạnh từ năm 1955. Công ty điện tử Western Electric Company (Winston-Salem, Mỹ) gặp phải các vấn đề trục trặc với các sản phẩm sai hỏng do sự có mặt của các hạt bụi trong không khí. Yêu cầu đặt ra cho họ là các phòng sạch không nhiễm bụi, và từ đó hệ thống phòng sạch đươc phát triển, với các hệ thống lọc, các hệ thống điều khiển, các quần áo bảo hộ nhằm chống bụi bẩn cho phòng… được phát triển như ngày nay. Và hiện nay, phòng sạch được sử dụng cho nhiều lĩnh vực: y tế, khoa học và kỹ thuật vật liệu, linh kiện điện tử, lý, hóa, sinh, cơ khí chính xác, dược…

3. Các tiêu chuẩn về phòng sạch

Tiêu chuẩn đầu tiên của phòng sạch là hàm lượng bụi, tức là hàm lượng các hạt bụi lơ lửng trong không khí được khống chế đến mức nào (tất nhiên là bụi bám càng phải làm sạch rồi). Nếu ta so sánh một cách hình tượng, đường kính sợi tóc người vào cỡ 100 mm, hạt bụi trong phòng có thể có đường kính từ 0,5 đến 50 m.

Các tiêu chuẩn về phòng sạch lần đầu tiên được đưa ra vào năm 1963 ở Mỹ, và hiện nay đã trở thành các tiêu chuẩn chung cho thế giới. Đó là các tiêu chuẩn quy định lượng hạt bụi trong một đơn vị thể tích không khí. Người ta chia thành các tầm kích cỡ bụi và loại phòng được xác định bởi số hạt bụi có kích thước lớn hơn 0,5 mm trên một thể tích là 1 foot khối (ft3) không khí trong phòng.

a) Tiêu chuẩn Federal Standard 209 (1963) [1]

 Tiêu chuẩn này lần đầu tiên được quy định vào năm 1963 (có tên là 209), và sau đó liên tục được cải tiến, hoàn thiện thành các phiên bản 209 A (1966), 290 B (1973)…, cho đến 209 E (1992).

b) Tiêu chuẩn Federal Standard 209 E (1992) [2-3]

Tiêu chuẩn này xác định hàm lượng bụi lửng trong không khí theo đơn vị chuẩn (đơn vị thể tích không khí là m3). Sự phân loại phòng sạch được xác định theo thang loga của hàm lượng bụi có đường kính lớn hơn 0,5 mm. Dưới đây là bảng tiêu chuẩn FS 209 E.

Class

maximum particles/ft³

ISO equivalent

≥0.1 µm

≥0.2 µm

≥0.3 µm

≥0.5 µm

≥5 µm

1

35

7

3

1

 

ISO 3

10

350

75

30

10

 

ISO 4

100

 

750

300

100

 

ISO 5

1,000

     

1,000

7

ISO 6

10,000

     

10,000

70

ISO 7

100,000

     

100,000

700

ISO 8

Bảng 2. Giới hạn bụi trong tiêu chuẩn 209 E (1992).

Bảng tiêu chuẩn này đã bị Bộ Thương mại Mỹ chính thức huỷ bỏ kể từ 29 tháng 9 năm 2001 tuy nhiên vẫn còn được ử dụng rộng rãi.

c) Tiêu chuẩn ISO 14644-1 [3,4]

 Tổ chức Tiêu chuẩn Quốc tế (International Standards Organization – ISO) đã quy định các tiêu chuẩn về phòng sạch tiêu chuẩn quốc tế. Tiêu chuẩn ISO 14644-1 được phát hành năm 1999 có tên “Phân loại độ sạch không khí” (Classification of Air Cleanliness). Các loại phòng sạch được quy định dựa trên biểu thức: với: Cn¬ là hàm lượng cho phép tối đa (tính bằng số hạt/m3) của bụi lửng không khí lớn hơn hoặc bằng kích thước xem xét. N là chỉ số phân loại ISO, không vượt quá 9 và chỉ số cho phép nhỏ nhất là 0,1 D là đường kính hạt tính theo mm 0,1 ở đây là hằng số với thứ nguyên là mm. Như vậy, có thể dễ dàng xác định các giới hạn hàm lượng bụi từ công thức trên và dễ dàng phân loại từng cấp phòng sạch (bảng 3).

Class

maximum particles/m³

FED STD 209E

           
               

 

equivalent

 

≥0.1 µm

≥0.2 µm

≥0.3 µm

≥0.5 µm

≥1 µm

≥5 µm

 

ISO 1

10

2

         

 

ISO 2

100

24

10

4

     

 

ISO 3

1,000

237

102

35

8

 

Class 1

 

ISO 4

10,000

2,370

1,020

352

83

 

Class 10

 

ISO 5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

Class 100

 

ISO 6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

Class 1000

 

ISO 7

     

352,000

83,200

2,930

Class 10,000

 

ISO 8

     

3,520,000

832,000

29,300

Class 100,000